二手 AXCELIS / FUSION PCU #293635910 待售
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AXCELIS/FUSION PCU是一种用于半导体晶圆加工的自动化曝光设备。它提供了多种特性和规格,使得生产先进的微电子器件。FUSION PCU由高级控制器单元控制,它能够根据不同的用户配置文件控制系统的进程。此控制器可确保为每批基板正确设置所有参数,从基板的尺寸和形状到曝光时间。控制器还支持广泛的用户首选项,包括能够轻松调整参数之间的曝光时间。该单元还具有先进的光学传感器和一台全电子驱动机器,可确保晶片在光束下的位置对准并聚焦于光掩模的投影点图样。这一特性有助于提高曝光过程的准确性,减少制造误差的发生。AXCELIS PCU具有高速快门,触发时触发紫外线光束。这种光是由一种高功率的汞-氙灯产生的,通过能量集中原理进一步放大。这使工具能够快速准确地放置任意大小的矩形曝光场,精度高达1微米或更精细。PCU可以使用标准的22场光掩码或高级的200场光掩码投射多达8个曝光场,从而确保客户几乎无限的灵活性。这样,随着曝光时间的减少,半导体生产过程中的效率提高,并且由于曝光错误而减少报废和停机时间。除了强大的性能外,AXCELIS/FUSION PCU的设计更易于使用。其简单的菜单资产使即使是新手用户也能快速轻松地设置各种曝光标准,如曝光时间和现场大小。它的高级图形用户界面还使用户能够轻松地排除可能发生的任何暴露错误。最后,FUSION PCU采用高质量的材料制成,旨在承受操作产生的温度和振动。它还被设计为与大多数现有的自动化技术兼容,使其能够轻松地集成到现有的生产线中。AXCELIS PCU是寻求可靠高效曝光模型的用户的理想选择。
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