二手 AXCELIS / FUSION PS3 #293742986 待售
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AXCELIS/FUSION PS3曝光设备是一台先进的光刻机，设计用于先进的半导体加工。利用可靠的离子源,FUSION PS3提供各种基板材料和设计几何形状中设备特征的高度精确和一致的曝光。该系统支持光刻和非光刻工艺，比传统光刻工艺提供了更好的特征分辨率和一致性。该平台采用10微米分辨率的线性扫描仪，最大速度高达2000线/秒。一个大的视野和快速的扫描速度，使快速的设备模式传输，同时产生优越的特征细节。此外,AXCELIS PS 3通过其高度灵活、可配置的平台设计提高了吞吐量。其机器人盒式装载机优化多设备生产，而自动曝光控制单元则相应调整曝光时间，以确保连续可重复性和高均匀性。PS3的精密光传输机允许在整个基板表面精确聚焦，以实现高长宽比和增加均匀性。其主动控制工具可减轻任何光学对准和失真问题,从而实现高度准确的处理结果。平台的高灵敏度、高精度光掩模对准和测量技术也使其能够处理甚至复杂的设备特性。该资产具有10nm的有效对准公差、高信噪比和低次分辨率对准信号,可准确传输微小的特征信息。总体而言,AXCELIS PS3为大容量和高级半导体生产提供了高级设备处理功能。该模型具有精确打印小特征和小图桉的能力,可确保高精度和重复性,从而提高产品产量。它具有高度的灵活性、可配置性和准确性,使其成为高级设备处理的强大平台。
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