二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9228099 待售

AXCELIS/FUSION PS3是半导体工业中用于光刻工艺的先进曝光设备。FUSION PS3系统是一个前沿单元，通过提供更高的分辨率、更好的可重复性和更快的吞吐量，改进了传统DUV光刻能力。AXCELIS PS 3具有一整套功能,旨在增强光刻工艺的最终结果。该机采用多种刀具配置,可实现精确的层对齐和多场、多场型晶圆扫描功能。PS3的高速、高分辨率扫描和输出能力可以产生高达500 x 500 mm的晶片,分辨率为0.17 μ m。此外，AXCELIS PS3为最先进的工艺支持广泛的敏感晶片基板。该工具的数字基板倾斜补偿功能可实现快速、准确的晶圆成像,而先进的晶圆跟踪和曝光控制系统可确保晶圆对准一致。AXCELIS/FUSION PS 3的高级处理系统提供各种材料选择、抗蚀剂、扫描速度、镜头减少和蚀刻增强。可以根据流程要求定制工具选择以及硬件和软件的组合。FUSION PS 3的晶圆加载资产提供了更大的灵活性来支持高吞吐量需求。此外,还提供各种高精度光学封装,为客户提供最高的处理精度。PS3模型包含了一整套服务和支持计划,以确保客户流程的连续性。预防性维护、设备维修、备件交付、技术培训等都是整体服务包的一部分。此外,FUSION还为客户查询提供快速解决方桉。总体而言，AXCELIS/FUSION PS3高级曝光系统是光刻处理应用的绝佳工具。FUSION PS3将最高性能的功能与最新技术相结合，提供了最先进、最可靠的光刻解决方桉。