二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9230281 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一款先进、高性能、经济实惠的曝光设备，用于制造和制造半导体晶圆、集成电路等高科技元件。该系统支持Advanced Technology Manufacturing,并建立在数百年的光学、金属和精密机器设计实践的基础上,以实现最先进的性能。FUSION PS3由一系列组件组成，包括光源、标线台、镜头、相机、掩蔽和图桉针迹。发射波长在365至436纳米之间的光源，或为汞激光，或为氙激光器，用于将受控模式投射到标线级。标线是一种用于将定义的图样暴露在晶圆上的掩码。标线保持在真空框架中，这样图样就不会相对于被图样化的基板移动。镜头捕捉激光发出的光，并将其引向标线级。这种透镜通常由熔融的二氧化硅制成，其设计目的是提供一个平坦的视场，以便精确地形成图样。摄像机用于检查镜头和标线,而掩蔽单元确保满足所有工艺参数。图样缝合提供了一种准确确定每种图样在晶片上的位置的方法。除了AXCELIS PS 3的组件外，这台机器还包括一个预测控制器，它使用了一系列复杂的算法来优化过程。该控制器不断监控工具的性能并调整参数以确保获得最佳效果。此外,资产还具有内置的安全功能,可在发生流程错误时关闭模型。AXCELIS PS3能够产生高精度和可重复性的多种模式。该设备可用于光刻、蚀刻、光刻和等离子体增强等多种应用。此外，AXCELIS/FUSION PS3能够进行晶圆映射、缺陷检测和介电测试。该系统提供了一系列高级功能,包括高速模式识别引擎和具有自动数据存档功能的多级数据记录器。该单元还包括一套用于控制、监视和分析暴露过程的软件工具。总体而言，PS 3是一款可靠、功能强大的曝光机，可用于多种行业和应用。它的精确度、性能和经济效益使其成为需要高级流程控制和精确度的高端应用程序的智能选择。