二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9240661 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一种曝光设备，帮助制造商生产先进的照相和印刷设备，如印刷电路板、平板显示器和生物传感器。FUSION PS3是一个最先进的光刻系统，为集成电路（IC）芯片的开发提供高质量的阵列。它结合了先进的光学、机械和电子硬件，以及用于图样和计量的先进软件工具。在其核心，AXCELIS PS 3的特点是顶部和底部的大面积曝光单元具有一个欧中心点，由一个真正的193 nm，13厘米直径的ArF光刻激光供电。这提供了卓越的聚焦深度和分辨率能力,以及顶部和底部的掩模板处理程序,提供19.75英寸乘19.75英寸的格式和高达40英寸/秒的扫描速率,以及更高的每小时10个晶片的吞吐量,从而减少制造周期时间。AXCELIS/FUSION PS3还具有基板运动控制和图像对焦调节系统，使曝光能够精确准确地实现。这使用户能够以精细的分辨率、高吞吐量和出色的覆盖精度来设计高度集成的IC。它还使他们能够利用真正的偏振和可变曝光能力等先进的光学功能来开发最先进的IC产品。此外,FUSION PS 3还具有精确制图过程控制功能,可用于精确平版印刷,即使在低曝光时也是如此,它还具有强大的软件套件,可让用户快速编程和处理复杂的图案以及精确的结果。还提供了一套计量工具，包括曝光前和曝光后的对齐方式，以取得一致的结果。最后,PS3提供了一种增强的环境控制机器,可确保刀具的准确运行,减少对空气污染物的影响并提高电源效率。这种集成的环境控制包括降低功耗的节能模式，以及可减少有害排放的低通用功率排气按钮。AXCELIS PS3是一种功能强大且可靠的光刻资产,它提供高级曝光能力以帮助生产明天的IC设备。它结合了先进的硬件和软件,提供精确的阵列和计量功能,以及改进的吞吐量和环境控制功能。