二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9240662 待售

AXCELIS/FUSION PS3是为提供行业标准光刻曝光能力而设计的曝光设备。该系统是FUSION平台的后继产品,它提供了若干重大的升级和改进。该单元采用前沿激光扫描技术，提供卓越的分辨率和非常紧密，可重复的图样。它具有可调的特性尺寸，从4微米到10微米不等。它还具有输出功率高达2000瓦的高功率激光器,允许更快的曝光和更高的吞吐量。这台机器有一个大的、精细的机械桥，可以覆盖大范围的曝光场，高达12英寸。这座桥配有多种可调节的光刻口罩，包括BGA、LGA和特种口罩。该工具还具有几种盖子类型和尺寸,以容纳更大的基板。FUSION PS3资产具有先进的喷嘴设计,其设计重点是提高尺寸精度和最小振动。这确保了更高的基板阵列精度,同时还提供了更安全的环境和更低的噪声级别。此外,该模型还具有多种曝光选项,包括聚焦光束、反射和迭加选项。这一品种让用户能够准确匹配自己的曝光需求，同时也提高了速度和吞吐量。最后,但并非最不重要的一点是,此设备还附带了一套全面的软件工具,以最大限度地提高其功能。捆绑软件提供了分析功能,用户可以在执行与设计数据匹配的投影时识别和消除阵列缺陷。它还具有自动缺陷识别功能，有助于确保基板图样的质量，减少代价高昂的错误和重新加工的风险。总体而言,AXCELIS PS 3是一个功能强大且可靠的系统,旨在满足现代光刻曝光需求。该装置是先进包装、高针数器件制造和生物医学器件制造等工艺的理想解决方桉。