二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9241236 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一款最先进的曝光设备，专为先进的蒙版生产和光刻图桉设计。该系统结合了高精度光学、无懈可击的成像单元和先进的软件控制，提供超精度、高分辨率的结果。FUSION PS3是一台先进的光学成像机，利用集成的光学工具，由宽带弧光灯和非球面紫外线i线镜头组成，提供精确的成像结果。高分辨率光学和软件控制的结合使资产能够将模式精确地定义为晶圆。该模型还具有自动晶片对准设备，允许晶片的自动对准和配准以及精确的图样放置。AXCELIS PS3利用先进的软件控制方法，帮助优化生产过程中的速度和精度。自动晶片对齐功能由高级软件包管理,该软件包允许在流程的每个步骤中准确定位组件。此外,该系统还能够即时调整,以实现超精确的阵列放置和焦点控制。软件还允许操作员充分利用设备的成像能力，优化吞吐量，最大限度地提高产量。PS3机还集成了先进的扫描仪工具，将精密XY级与电动Z轴扫描头相结合。这种运动阶段和高级成像资产的结合,可以实现超精确的性能和准确性。该模型还提供有关成像性能的反馈,以及板载扫描诊断程序,以验证最佳设置和参数。此外,AXCELIS PS3还具有很强的检查能力。这包括图像比较、缺陷分析、迭加性能和光谱响应分析。这使设备能够提供一致的产量和可靠的过程控制。PS 3是一个最先进的曝光系统,旨在提供卓越的成像功能、可靠性和过程控制性能。利用先进的光学、成像系统和软件控制措施，该设备非常适合下一代蒙版生产和光刻制图。AXCELIS/FUSION PS 3具有精密光学、自动晶片对准机、电动扫描头和超精密成像功能,可提供掩模生产和光刻所需的性能和准确性。