二手 AXCELIS / FUSION PS3 #9241297 待售

AXCELIS/FUSION PS3是一种曝光设备，设计用于制造半导体器件的光刻工艺。它能够暴露小至0.25微米、直径达一英寸的特性。融合的FUSION PS3系统包括一台控制机器运行的强大主机,以及UltraViolet （UV）光源和精密级。曝光单元的光源是发射紫外线的弧光灯。该机具有高速扫描、用于测量光源强度的精确紫外线传感器，以及精确控制可移动级的定位以精确对准掩模和暴露的晶圆。该工具的最大扫描速度为每循环30毫秒，Z步进精度为0.3微米。AXCELIS PS 3的功能集允许快速准确地制造半导体器件。凭借其集成的精确舞台定位，以及一系列操作模式，用户可以拨入保持高吞吐量所需的精确参数，同时确保功能保真度。曝光资产具有完整的过程控制功能,并通过内部质量控制模型从晶圆反馈,从而允许对整个制造过程进行严格控制。该设备可配置为自动执行各种独特的过程,例如晶圆暴露在两个或多个不同的掩模中。AXCELIS/FUSION PS 3曝光系统设计用于制造半导体器件的各种光刻工艺。其强大的主机计算机允许对整个过程进行精确的控制，而其高速扫描、精确的紫外线传感器和超精确的级定位器则允许快速准确的设备制造。