二手 AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9273833 待售

AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC是下一代顶级曝光设备,旨在促进先进半导体工艺的发展。该系统具有320mm直径、变速晶片卡盘和高精度晶片对准装置,无需复杂和昂贵的后期处理程序即可生产出非常精细的设计。FUSION RapidCure 320FC配备了Xpress系列（或FusionHead）的深紫外线激光源和独特的照明设计,可同时容纳定制的非球面透镜和狭缝照明,是开发20 nm以下工艺节点的理想工具。其高精度的晶圆对齐机确保即使是非常小的特征对齐正确。RapidCure在整个表面提供了出色的暴露均匀性,在暴露时间和剂量方面的差异小于1%。该工具使用两个过滤器,根据工艺要求允许不同的解决方桉,其高度精确的剂量控制可确保每个处理步骤的最新结果。AXCELIS RapidCure 320FC还具有用于控制焦点高度的高级输入/输出数字I/O,进一步允许复杂、重复的步进运动轮廓与成像相结合。该资产同时集成了静态等离子体源和用于均匀腔室环境的精确控制闸阀。快速固化过程确保每次均以一致的方式完成光致抗蚀剂组，延长了该过程中使用的晶片和掩模的使用寿命。集成冷却模型可确保低热波动和高功率的长期使用稳定性。最后,RapidCure 320FC通过其先进的接口功能和对各种曝光工具供应商的支持,能够进行过程模拟和OPC校准。RapidCure结合了自动化配方、实时曝光流程验证和高级报告工具,提供了最新的流程开发功能。