二手 AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9293675 待售

AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC
ID: 9293675
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
UV Anneal system, 12" 2007 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC是一款先进的曝光设备,与传统方法相比,提供了更好的使用和准确性。该系统设计用于单通激光光刻的精确接触愈合。在从几微米到几毫米厚的各种基材上接触接触是可行的。FUSION RapidCure 320FC能够在标准基材上达到30至60分钟左右的曝光时间,在精致基材上达到10至40分钟。此外,这个单元还有一个用户友好的编程界面,简化了曝光过程。AXCELIS RapidCure 320FC具有强大的基于激光的光学机器,它使用定制的波长来适应特定的愈合应用。它的磁场曲率是可调的,允许精确对准聚焦在晶圆上。此外,它的线性伺服电机驱动工具和线性定位技术使这一资产更可靠的快速和准确的愈合。在安全性方面,RapidCure 320FC具有一系列保护人类和财产的功能。其中包括一个方便的无障碍保护、一个紧急停止按钮、一个集成的防撞模型和一个先进的热安全设备。此外,它还具有自动化就绪功能,使用户能够轻松地将系统集成到自动化生产过程中。AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC对用户也有一系列好处。这些措施包括无污染操作、能效和提高生产率。该机组拥有集成的高分辨率和低湍流空气机,进一步确保工作区域周围的空气流量和温度均匀。因此,FUSION RapidCure 320FC有助于降低生产成本和提高质量保证。总体而言,AXCELIS RapidCure 320FC是一种先进的曝光工具,使用户能够快速准确地修复细腻的底物。其用户友好的界面、可靠的操作、安全特性和自动化就绪的能力使这一资产成为许多光刻工艺应用的可靠选择。
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