二手 AXCELIS / FUSION RapidCure 320PS #293625716 待售

AXCELIS/FUSION RapidCure 320PS是一种顶级曝光设备,专为高速、高质量的光刻工艺而设计。该系统非常适合制造半导体晶圆和医药及生物医学工业的其他部件。FUSION RapidCure 320PS具有350 mm x 475mm的舞台尺寸,可以容纳大型工件,从而提高吞吐量。它具有独特的真空兼容性和150W的UV功率的组合，允许高速和均匀的曝光均匀性。10发自动对焦装置允许在曝光前快速准确地聚焦晶片部分。该机配备了一系列镜头选项，允许多种成像技术。它有一个大的场透镜，以尽量减少扫描边界处的缝合，从而增加吞吐量和场均匀性。AXCELIS RapidCure 320PS还配备了可选的激光对准工具，可以在舞台上提供更快、更精确的对准。该资产允许采用多种曝光技术，包括晶圆级直接曝光、迭加曝光和间隙曝光。此外，它还配备了一个用于处理晶片的"智能机器人臂"，用于在各级之间运输晶片的机器人，以及一个便于操作的先进控制面板。RapidCure 320PS具有许多高级安全功能,包括紧急关闭选项和锁门通道。它还具有独特的保护知识产权的安全模式。最后，它具有全面的数据记录功能，允许用户跟踪以前的光刻过程和曝光。总体而言，AXCELIS/FUSION RapidCure 320PS是一种顶级曝光设备，专为高精度和高效的光刻工艺而设计，这使它成为寻求制造半导体晶片和制药和生物医学行业其他组件的可靠系统的人的绝佳选择。