二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #293627840 待售

AXCELIS/FUSION Summit XT是为光刻设计的先进曝光设备。它非常适合高级内存和逻辑集成电路制造等高精度光刻工艺的应用。该系统旨在实现最高的效率和灵活性,允许用户针对特定设备或平台优化其流程。该设备采用多通道、顶级4kWxtal光学产品。这样可以实现跨多个波长和偏振角的高级性能。该机还具有全面扫描控制和先进的自动曝光控制功能，可对晶圆截面和曝光进行精确和精确的控制。该工具还具有自动对齐和源校准功能,并与流程控制软件集成,该软件允许优化资产性能和增加吞吐量时间。FUSION Summit XT是一个集成的模型，具有专利的空气承载级和自动负载端口。这提供了高精度和平稳的阶段操作,以及高吞吐量和可重复性。该设备还具有多种基板配置，包括每个腔室最多八个基板，两个活动基板，每次曝光最多128步和+-15晶圆边缘偏置。这使它能够有效地满足从单层到多层处理应用程序的各种用户需求。AXCELIS Summit XT配有一个全面的软件包，提供全方位的功能和操作。这包括许多安全功能,包括全面的流程控制、系统维护和数据管理。作为该软件包的一部分，该单元包括一系列高级工具，以简化和简化机器的操作。这些包括简单的基板编程和校准、快速设置和访问作业数据、通过逐行映射完成晶圆数据存储、自动化过程跟踪和控制等等。总体而言,Summit XT高级曝光工具为原型制作和生产处理需求提供了卓越的性能和能力。借助先进的光学设备和集成软件,该资产允许用户将其流程定制为所需的最终用途。此外,其全面的安全功能可确保数据得到保护,并优化用户流程以实现最高效率。