二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9107033 待售
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AXCELIS/FUSION Summit XT是在半导体器件製造过程中为精密晶圆曝光而设计的集成设备。它由多个不同的部件组成，包括超高分辨率步进电机、真空室、焦点和对准组件、光掩模和健壮的机器人控制系统。这些系统能够实现亚微米设计规则合规性,从而生产出卓越的分辨率设备。步进电机是单元的重要部件，允许曝光场的精确移动，以确保一致的对准和准确曝光。电机的高分辨率支持生产极小的结构，如电路路径、接触手指，甚至是最小的沟槽。真空室可防止有害的空气和环境污染物进入机器。它充当暴露组件和外部环境之间的压力屏障,确保工具保持清洁。清洁环境是在多个芯片上实现一致的图像质量和可重复结果的关键因素。聚焦和对准组件用于在曝光过程之前对齐光掩模和晶片。这样可以确保暴露的图样准确、精确。组件还有助于确保光掩码相对于晶片正确对齐,从而最大程度地减少未对齐的可能性,从而导致设备特性出现错误或波动。光掩码包含在曝光过程中转移到晶片上的图样。遮罩设计的准确性和分辨率直接影响到图桉的质量，进而影响到装置的特性。最后，机器人控制资产负责控制步进电机的运动以及焦点和对准组件，以确保模型以可预测和一致的方式运行。该设备包含各种反馈机制，可以检测系统中的任何错误或异常，并自动做出响应，以纠正与正常操作的任何偏差。综上所述，FUSION Summit XT是为半导体器件制造中的精确晶圆曝光而设计的综合单元。其先进的部件经过优化，以实现精度和可靠性，从而生产出质量一致的高分辨率设备。
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