二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9189027 待售

AXCELIS/FUSION Summit XT是为半导体制造中使用的商用光刻工艺而设计的先进曝光设备。它是一个完全自动化的三轴系统，由精密电机执行器驱动，针对成像吞吐量和高精度层清晰度进行了优化。它有一个先进的光学单元，既有一个100瓦激光照明投影装置，也有一个能够处理高容量和低容量生产的电动掩模对准器。FUSION Summit XT旨在通过利用先进光学器件来最大化大体积晶体光刻工艺。它的模块化体系结构允许将其集成到具有多种曝光模式的现有生产基础架构中。该机配备了精密的软件控制系统，可优化刀具性能并确保可靠、一致的运行。它可以用来制作非常复杂的图样，精度和精度都很高。AXCELIS SUMMIT XT的光学资产使它能够同时暴露正负曝光层，同时将曝光面积从最低0.1微米改变到最高50微米。它的投影成像使它能够捕捉到高分辨率的图像，允许更高质量的图像从光掩模传输到晶圆，从而减少打印周期时间。此外,它的模块化和定制硬件结合自动化的流程功能,在同一运行中启用多个晶圆流程,从而最大限度地提高生产效率。此功能允许对晶片的不同层进行预编程和自动化处理,而无需操作员干预或重新编程。Summit XT的集成软件平台包括过程控制和性能优化工具，如过程控制、有效剂量映射、晶圆对齐、焦点控制、条形码识别、脚本编辑、图像捕获等等。该软件与各种相关的外部光刻工具接口,以优化模型性能和制造产量。AXCELIS/FUSION Summit XT还包括保护人员和设备的广泛安全功能,以及先进的环境控制系统以确保卓越的成像条件。该单元可以量身定制以满足各种客户需求,并得到全球服务和支持的支持。综上所述,FUSION Summit XT是一款先进的自动化曝光机,非常适合大批量产品制造过程。它具有先进的光学工具,可定制以满足特定的工业需求,以及强大的软件平台。此资产旨在优化工艺性能和制造产量,同时确保人员安全和环境控制。