二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9352620 待售
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AXCELIS/FUSION Summit XT是一种全面而坚固的曝光设备，旨在提供极为精确的光掩模制作能力。FUSION Summit XT能够利用从248nm （KrF）到405nm （UV）的各种介质和波长曝光各种光掩模。它能够处理从石英到玻璃再到金属的各种介质。该系统采用六面、全封闭、隔振的环境，确保曝光光掩模的质量和精度最高。其高速处理能力使其适合最苛刻的光掩模应用。获得专利的晶圆和光掩模扫描单元允许在光掩模上进行非常均匀的曝光,从而减少了对昂贵且耗费大量精力的重新对准的需求。AXCELIS Summit XT支持一系列精密的光掩模检查系统，包括视觉检查系统、显微镜和激光测量系统。这允许详细检查光掩模边缘和其他可能影响曝光过程准确性的关键特征。此外，还提供了一套暴露计量工具，用于监测暴露变化和验证机器性能。Summit XT被设计成可以处理非常高的分辨率模式，并支持高精度的曝光。其行业领先的对准精度可带来卓越的迭加性能,并可提高光掩模制造工艺的产量。该工具支持包括亚微米性能在内的多种分辨率格式，其高曝光均匀性可以提高生产率，降低报废和返工成本。AXCELIS/FUSION Summit XT提供多种配置以满足任何光掩模应用程序的需求。它的灵活性旨在帮助需要快速调整流程以满足不断变化的市场和流程要求的客户。FUSION Summit XT由广泛的远程服务网络支持,以确保峰值性能。该资产还具有业界最全面的维护和诊断功能,允许从任何位置访问重要的模型信息,从而实现更快、更高效的诊断和响应。设备使用方便，直观的图形用户界面允许用户快速访问特性和功能。此外,还提供各种选项和升级,以帮助客户根据他们的精确需求定制AXCELIS Summit XT。
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