二手 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9134022 待售

AXCELIS / FUSION UV-150PC
ID: 9134022
晶圆大小: 6"
UV Stabilizers, 6".
AXCELIS/FUSION UV-150PC曝光设备是一种广谱辐照系统,旨在在一系列基板上提供均匀曝光。这包括玻璃、聚合物、硅酮等元素,或任何其他可以在紫外线光谱范围内进行光分解的材料。FUSION UV-150PC的构建考虑了可靠性、寿命和过程灵活性,并使用了知名制造商的组件来确保这一点。这种曝光装置非常适合各种材料和基材暴露于紫外线的过程。AXCELIS UV-150PC具有先进的面板轴设计,可在大型和/或渗透性矩阵(如带有遮罩图案的玻璃)上保持一致的曝光,且倾斜或干扰最小。曝光机还配有增强的激光制导矫正工具,可以使卢浮宫目标上的板子精确对准。该资产的总能量范围为5-650 J/m2,大精密窗口为± 2.5%。这样就可以对任何种类的材料进行可靠的处理,并且在整个现场具有很高的均匀性。开槽排气模型的设计旨在减少风扇阻力对光学过程的影响,而车载紫外线传感器则不断监控光源强度,以保持一致性。该设备还具有多种安全功能,例如防止未经授权进入的防篡改前面板。它还包括一个自我诊断模式,它可以让机器快速轻松地识别系统故障。另外,LED电源和保险丝指示灯可以轻松了解设备的整体性能。最后,UV-150PC设计方便维护,并配有一个粒子过滤器,用于捕获可能进入机器的任何有害粒子。无需专用工具即可快速轻松地更换此过滤器。此功能使AXCELIS/FUSION UV-150PC对环境法规严格的公司来说是一个不错的选择。
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