二手 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9144789 待售

AXCELIS/FUSION UV-150PC是一种曝光设备,旨在为先进的设备制造提供高效的光刻工艺。FUSION UV-150PC集成了先进的成像技术,能够确保光掩模制造、半导体和其他相关工艺的质量和生产率。曝光系统的设计目的是在满足高级自由形状光掩模阵列要求的宽流程窗口上提供可靠的曝光能力。它是下一代光掩码开发以及分辨率增强技术（RET）和硬掩码曝光等应用的最佳单元。AXCELIS UV-150PC提供了提高生产率和产量的综合功能。其自动对焦机自动补偿基板的地形差异，提高了曝光工具的准确性和可重复性。其自动对焦技术可以以数字方式重新映射曝光数据，以解决曝光阶段的小缺陷。此外，其先进的成像技术提供了高速曝光速率和均匀性。UV-150PC还拥有一个综合热管理资产。利用其内置的温度控制模型，曝光设备确保了一致的光掩模图样，而无需裁剪。此外,其先进的光学系统提供了优化的光谱均匀性,并在整个曝光过程中提供了出色的曝光精度并行性。最后,改进的真空结构确保了稳定的成像,并提供了良好的图像保留.AXCELIS/FUSION UV-150PC还设计用于最大限度地减少材料使用,其优化的网格技术有助于减少粒子生成。它还具有可配置的扫描单元,可最大化扫描速度并最小化光掩码上的伪影。此外，它的完全可配置的自动跟踪机器允许根据应用程序的要求精确调整焦点和剂量参数。FUSION UV-150PC是一种先进的曝光工具,可为各种光刻工艺提供卓越的工作效率、准确性和效率。其先进的成像资产可确保在广泛的应用中进行高度准确和精确的曝光,这有助于最大限度地减少材料浪费并提高产量。其先进的内置温度控制模型可提供卓越的图像质量，而其创新的真空架构则可确保最佳的稳定性和图像保留。最后，它的高速扫描能力和自动跟踪设备保证了高吞吐量和可重复结果。