二手 AXCELIS / FUSION UV LC-6B #9061093 待售

AXCELIS/FUSION UV LC-6B是来自FUSION的最先进、功能齐全的曝光设备。该系统旨在提供精确的紫外线光刻曝光，以最大限度地提高通量和产量。此单元特别适合中高容量生产环境,因为它具有高度模块化和可扩展性。FUSION UV LC-6B具有先进的设置和对准选项,提供了更好的降低和准确性的掩模到晶圆对准。这样可以确保精确的接触坐标,并确保更高的产率。该机高度自动化，允许最少的操作员参与，并配有精确的舞台驱动器，用于精确的曝光放置。腔室尺寸可定制,可容纳直径不超过200毫米的基板。该工具为精确的曝光控制提供了先进的光学性能。其紫外线可调孔径可确保均匀的照明强度和可重现的结果。高度先进的反射器技术促进了出色的捕捉便利,消除了错位,并减少了切换时间。先进的光束扫描头和自动重新聚焦光学器件减少了磁场可变性的焦深,并最小化了设置优化。AXCELIS UV LC-6B能够达到高达25 mJ/cm2的暴露剂量,确保出色的分辨率.资产的高级批处理模式非常适合大吞吐量情况,并且可以定制配置以适应不同的基材或暴露剂量要求。先进的串联工艺控制可确保晶片对晶片的最大可重复性，而获得专利的非接触基材和中间持有者可防止污染。UV LC-6B旨在与各种自动化库配合使用,包括MultiFab和Temptronic NxStep库。它是一个可靠、经济高效的模式化解决方桉,可以依靠它来获得一致的结果。凭借先进的成像技术和强大的模型软件，AXCELIS/FUSION UV LC-6B是中高批量生产的理想曝光解决方桉。