二手 AXCELIS / FUSION UV #9145265 待售

AXCELIS/FUSION UV是一款用于曝光紫外线（FUSION UV）光敏材料的先进设备。它是为制造半导体器件和晶圆而设计的光刻机。AXCELIS UV系统是一种抵抗曝光单元，使用带有投影光学器件的UV灯提供多种曝光模式。灯的功率和光的强度是可调的，使光刻胶的精确曝光。它还配备了防反射涂层（ARC）腔室，以减少来自抗蚀剂表面的反射，从而产生更大的图像清晰度。机器还使用自动步进/扫描仪来确保基板的均匀曝光。AXCELIS/FUSION UV工具能够产生各种光掩模的曝光，从小尺寸到大尺寸图样不等，具有高精度和可重复性。该资产还配备了先进的地形垫片，使定制的曝光模式能够直接转移到基板表面。步进/扫描仪可确保在多个基板上进行精确且可重复的模式传输。FUSION UV型号配备了一系列安全特性。其中包括温度和安全室，以保护人员免受高强度AXCELIS紫外线辐射的接触。安全互锁设备设计用于在暴露人员进入暴露区域时立即关闭系统。该单位还包括一个生物scanne r来检测任何人员进入暴露区的前后两壁。UV机是半导体器件制造中光刻工艺的一种可靠、通用的曝光工具.该资产能够提供小到大尺寸的图像曝光和模式传输,并具有准确性和可重复性。其安全特性将确保人员免受危险的AXCELIS/FUSION紫外线辐射。先进的模型为半导体光刻工艺提供了高效、准确、自动化和可靠的工具。