二手 BELTRON B3000 #293589857 待售
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BELTRON B3000是一种曝光设备,用于光刻应用,如半导体制造中使用的应用。该系统具有先进的成像单元,可以将高度精确的图像投射到基板上进行曝光。机器由舞台和控制器组成。该阶段由两个线性阶段组成,它们在暴露过程中提供了基板的精确定位。另外,该级提供Z轴补偿,其目的是补偿晶圆级一致级失真。该工具的主要特点是其高级镜头资产(ALS)。该模型具有先进的图像投影工具,提供了光刻市场上最高的分辨率。该设备以高度精确的方式投射光源,分辨率高达7nm。它还可以防止任何串扰或投射光"流出"到基板的其他区域,从而确保清晰和准确的图像。除了精确的图像投影系统外,B3000还具有各种特点,以提高可靠性和过程控制。这些特性包括独特的两级清洁工艺,以改善暴露前基板的清洁度,用于在暴露期间精确温度控制的腔室温度传感器,以及用于一致温度控制的高效冷却装置。这些功能有助于确保精确和高质量的曝光结果。BELTRON B3000机器还具有强大的软件套件。此套件包括用于数据分析的工具、易于使用的界面以及用于控制各种流程参数的功能。此外,它还包括用于精确成像性能的校准工具。总体而言,B3000曝光工具提供业界领先的成像功能、对过程的精确控制以及功能强大的软件工具,使其成为光刻应用程序的绝佳选择。
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