二手 CHEMCUT 303 #9068989 待售

CHEMCUT 303是为接触（正音）和非接触（负音）光刻应用开发的最先进的曝光设备。该系统结合了多种先进技术，在接触过程中提供了出色的再现性和准确性。此单元利用固定光学元件和多层分束器,提供卓越的图像质量和均匀性,同时允许图像尺寸达到15 x 15英寸。光学布局允许轻松集成到自动化平台中。该光学器件具有低通量软离子源和电磁快门，能够曝光两束光刻或单发光刻。该机还包括用于精确功率控制和均匀剂量分配的可调光束控制器。303配备了数字运动控制器和步进电机,可自动定位和定向曝光面罩和基板。它还包括一个先进的软件包，用于自动对准和定位曝光区域和图像。该工具符合业界流行的ISO和JEDEC标准，适合多种基材类型和尺寸。CHEMCUT 303为先进的曝光过程提供了可靠的解决方桉。该资产先进的光学设备、先进的控制器和图像质量软件确保了线型和区域结构的可靠再现。303具有自动运动控制功能,可实现广泛的过程灵活性,同时最大程度地减少暴露错误。此外,它与行业标准准则的兼容性使其适合各种应用,从晶圆阵列到IC封装和MEMS制造。