二手 COLIGHT 1230 #293589867 待售

COLIGHT 1230是用于制造晶片和光学元件的各种光刻和加工应用的曝光设备。该系统能够提供各种类型的曝光，例如：紫外线（UV）、可见、X射线、深紫外线（DUV）和高真空（HV）。该单元设计允许进行广泛的曝光,使用户能够快速准确地生产多种组件,包括半导体、光电器件、MEMS和光学透镜。该机采用1230mm x 1220mm级，可支撑多种300 mm以下的基板。舞台运动力学由空气轴承和线性同步电动机（LSM）组成，提供一致和可重复的运动控制。该级的高稳定性确保了整个晶片的均匀曝光。该工具利用强大的控制器和闭环反馈资产进行精确的光束定位和曝光。1230具有模块化体系结构,其中包含用于光学、照明和控制的单独模块。这种模块化设计允许安装各种光学和照明源，以满足用户的应用要求。该模型最多可配置四个曝光头和一个可选的机器人处理程序。曝光头包含多种光学和光源，包括Imbert-Friedrich照明、Spectral Selection、Fourier Filtering、Cradle and Step Selection和On-Axis光学系统，使得该设备适合广泛的光刻和处理应用。COLIGHT 1230设计了多种安全功能，以确保操作员的安全。它具有安全联锁、紧急停止按钮和带有联锁检修门的护栏。它还具有晶圆映射、晶圆计数和亚微米对准等多种计量功能，为用户提供了对其曝光过程的精确控制。该系统用户友好，具有直观的图形用户界面，便于参数设置和控制。1230是一种高能力的曝光单元，适合先进光学元件的制造商，包括半导体、MEMS设备和光学透镜。它提供快速、准确的曝光,提供统一和可重复的结果,使用户能够快速高效地生产高质量的组件。