二手 COLIGHT DMVL 1350 #97452 待售

COLIGHT DMVL 1350是专门为增强光刻工艺而设计的曝光系统。它配备了高度集成的结构和一系列先进的组件，这些组件协同工作，为各种基材提供精确的暴露过程。这套系统具有一个z-stage，设计用来精确调整板的姿态；具有X-Y表的平面内电动机,可对样品进行高精度定位；最高50纳米的极佳分辨率；以及内置的运动控制界面，进一步改善了曝光过程。曝光源由两个在可见光谱中发光的i3 s LED源组成；390、405、450 nm波长的三个脉冲激光源；和465 nm的LED源。LED源是单独运行的,用户可以更改以修改曝光强度。该系统还包括一个集成软件包，允许精确控制曝光过程。此外，用户可以在各种暴露参数之间变化，包括暴露时间、剂量和波长。DMVL 1350是一个全面可靠的系统，具有高度精确的曝光性能，非常适合各种光刻应用。