二手 DNS / DAINIPPON EEW-622-8 #138780 待售

DNS / DAINIPPON EEW-622-8
ID: 138780
Photoresist edge exposure system.
DNS/DAINIPPON EEW-622-8是为高级研究应用而设计的最先进的曝光设备,包括微电子器件制造。DNS EEW-622-8以直接正音成像(DPI)技术为基础,利用改进的电子束蒸发技术对晶圆材料薄层进行精确曝光。直接正音成像过程允许用户在图样化的基板上进行不同类型的接触,以及创造极薄且复杂的图样化设备的能力。DAINIPPON EEW-622-8包括一系列优化曝光性能的技术,例如高级扫描系统和高级发射器集成。扫描单元允许用户控制电子束的大小、形状和方向,从而实现高放大率和低放大率的曝光。发射器集成技术使机器能够产生高度优化的图像,最大限度地提高模式分辨率和设备性能。该工具配备了高效蒸发源,为暴露提供了必要的能量。该源通过对将要暴露的层施加负电势来运作。这允许电子束蒸发材料,留下形成器件图样的带电离子图样。EEW-622-8还设有一套综合计量系统,可用于衡量和监测风险敞口资产的业绩。该计量套件可以测量电子束的大小和形状、束电流、漂移和分辨率。它还允许用户监视暴露层内的充电级别。该模型还提供了高吞吐量功能,并且以一秒钟内的高吞吐量速率进行曝光。此功能显着提高了设备的多功能性,使用户能够快速高效地生成各种不同的模式。总体而言,DNS/DAINIPPON EEW-622-8是一个功能强大的曝光系统,使用户能够在小型和复杂的基板上制作精确的模式。凭借其全面的计量套件、高吞吐量能力和先进的发射器集成技术,用户可以生产出性能提高的高质量设备。
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