二手 DS SEMICON DS 141 #293637840 待售

DS SEMICON DS 141是一种先进的自动化晶圆曝光设备，设计用于半导体IC（集成电路）制造中的光掩模处理。该系统适用于光刻和灰光/吹制过程。DS 141由一个主单元、三个伺服电机、步进电机、一个X/Y机器人等部件组成。该单元的主单元提供曝光和清洗过程的硬件和软件控制。它负责控制步进和伺服电机以及X/Y机器人。步进电机驱动晶片卡盘组件,用于在处理过程中传输晶片。3个伺服电动机控制着X、Y和Z轴的运动，这些运动用于将掩模和基板定位在曝光室中。X/Y机器人在处理过程中将基板从负载锁转移到曝光室。DS SEMICON DS 141具有高分辨率成像机,可处理光掩模侧和晶圆侧的曝光。成像工具由一个标线和晶片卡盘、两个成像器和两个扫描板组成，用于监控成像资产的性能。标线用于定位光掩码上的图样,并且可以在X、Y和Z轴上移动。晶圆卡盘在加工过程中用来固定基板，也可以在X、Y和Z轴上移动。该模型配有一个超高真空室，用于在低真空压力下暴露晶片，以尽量减少基板的污染。设备还配备了一个MFC（质量流量控制器）、一个压力控制器和一个离子计，用于测量暴露室内的压力。该系统还设有一个辐照装置，由三个总功率为625瓦的氙灯组成。DS 141有一个自动流程和数据归档机，它允许远程控制和监控曝光流程。该工具还提供了实时显示模型状态的诊断和故障检测资产。该设备最多可储存500个配方，每个工艺周期最多处理1,000,000个晶圆。总之，DS SEMICON DS 141是一种先进的自动化晶片曝光系统，具有高分辨率成像、超高真空室、MFC和辐照装置等特点，适用于光掩模加工和其他高级半导体IC制造工艺。