二手 ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS 3C-PM #28671 待售

ELECTRON VISION/AMAT/APPLICED MATERIALS 3C-PM是一种为支持高级光学光刻应用而设计的曝光设备。该系统可实现高摄影分辨率和降低X-Y舞台运动。AMAT 3C-PM由一个关键的对准级和一个高精度光学成像单元组成。ELECTRON VISION 3C-PM支持非常高分辨率的特征控制和次分辨率的模式对齐,以及模模掩码对齐的超高级性能。该机包括一台先进的成像显微镜，提供了预补全投影和针栅阵列（PGA）级的视场。还有特征识别和差距调整能力。3C-PM提供高达8英寸模具尺寸的高吞吐量应用程序,以获得最大产量。它控制所有光刻过程,包括涂层、图样检查、曝光和蒙版对准。每个APPLIED MATERIALS 3C-PM工具都有一个集成的缺陷检测资产。ELECTRON VISION/AMAT/APPLICED MATERIALS 3C-PM具有车载电机控制,以保证高位置精度。它具有高度精确的真空/压力夹紧模型，以确保模具两侧紧密配合，最大限度地提高工艺产量。AMAT 3C-PM是一种高度灵活的设备,可提供双面成像和广泛的曝光参数,以满足各种产品需求。它允许快速更改光掩码,同时保持一致的成像条件。该系统能够独立控制每个LED或Laser阵列的强度,从而确保在整个基板表面均匀曝光。ELECTRON VISION 3C-PM是专门为多层光刻而设计的,配有一个完全可编程的光学校正单元,为掩模不对准提供高效准确的校正。它还提供先进的激光能量控制，并允许动态激光曝光控制。此外，机器还配备了一个全面的对准工具，用于手动和自动模式转移到基板。3C-PM是一种经济高效、可靠且适应性强的曝光资产,提供先进的光学光刻解决方桉。它旨在简化高分辨率、高质量、低材料成本和卓越可靠性的设备模式的过程。该模型使制造商能够最大程度地控制光刻工艺,并使他们能够在较短的时间内生产出质量更好的设备。