二手 ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 #138799 待售

ELECTRON VISION/AMAT/APPLICED MATERIALS EC-30200-AT11是AMAT设计的先进曝光设备，在光刻/蚀刻/纳米加工应用中提供卓越性能。该系统设有真空室、激光照明投影单元和高速扫描平台，用于控制过程。AMAT EC-30200-AT11能够支撑最宽范围的晶圆直径,从4英寸到8英寸（100毫米到200毫米）。该机采用多光子激光器，可精确控制光度，用于光刻和蚀刻应用。这些激光器可以产生分辨率高达0.25um/1000线/毫米的高度均匀的光强度和高保真图像。该工具的高速扫描平台使其能够以高达1kHz的速度执行光刻过程。这样可以实现更快的吞吐量,同时确保过程中更高的一致性和准确性。该资产还具有256区干涉计量模型，允许在晶圆上进行可重复测量和精确处理。ELECTRON VISION EC-30200-AT11利用特殊气体和先进扩散机制的独特组合来提高蚀刻性能。这包括基于HF的气体、碳氟化合物和氧气的溷合物、O2、 、 、 、CO2和其他特殊气体。该设备还采用了先进的化学喷射系统来精确控制pH值，并配备了自动气体选择装置来定制气体溷合物表面条件。APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11还具有提供控制和过程监控的高级自动化机器。这包括一个带有显示界面的嵌入式控制工具，允许操作员远程监视和调整进程。它还具有高速网络连接，以方便资产控制器和其他设备之间的数据传输和交换。总之EC-30200-AT11是一个高度先进的曝光模型，旨在提供光刻、蚀刻和纳米加工应用方面的卓越性能。通过利用多光子激光器、高速扫描平台以及各种特种气体和化学注入系统，这一设备为广泛的晶圆直径提供了精确和可重复的结果。通过先进的自动化系统,操作员能够访问远程控制和过程监控功能。