二手 ELECTRON VISION ElectronCure 30X #9191672 待售

ELECTRON VISION ElectronCure 30X是一种用于光刻工艺的强大而可靠的曝光设备。采用深层紫外线和电子束光刻技术均可曝光。它具有独特的电子束和水银灯源组合。它具有高分辨率和良好的聚焦稳定性，是各种微电子应用的绝佳选择。ElectronCure 30X提供卓越的聚焦深度（DOF）性能。DOF是电子束和水银灯可以在设计的暴露剂量范围内暴露的区域。ELECTRON VISION ElectronCure 30X的DOF范围令人难以置信的宽广，使得电子束的暴露范围可达0.3 µm，汞源的暴露范围可达0.7 µm。ElectronCure 30X的源通量是可编程的，这提供了对曝光剂量的高度控制，也允许在曝光过程中调整电子束和灯的强度。它还具有一个先进的自动聚焦选项,允许围绕某个区域快速扫描和精确聚焦。这确保了投影设计与基板之间的良好对齐，使其成为现有应用和新应用的理想选择。该系统还提供了极好的剂量均匀性，这意味着即使在采用具有挑战性的设计时，剂量也可以统一调整。它还使用了一个软件包，以更好地控制暴露过程并提高批处理能力。这样可确保在不同的设计资源和生产现场之间轻松准确地传输数据。ELECTRON VISION ElectronCure 30X是一个稳定、可靠和健壮的单元，为用户提供质量最高的图像，得到最一致的结果。它提供流畅的操作、卓越的准确性和可重复性，使其成为现有和新的输出需求的绝佳选择。在分辨率和焦点稳定性方面，这台机器是当今最先进、用途最广泛的曝光系统之一。它可以用于大部分的光刻过程，从简单的1D线研磨到复杂的3D图桉。