二手 EXFO / EFOS IQ-203 #9152167 待售

EXFO/EFOS IQ-203是EXFO Instruments的工程专家制造的高级曝光设备。该系统设计用于25纳米以下临界尺寸（CD）线/空间测量。EXFO IQ-203利用自动化的prober和3轴定位平台来确保准确和可重复的曝光性能。曝光装置还设有一个集成的自动光刻涂层平台，用于高介电常数材料。EFOS IQ-203利用最先进的光学设备提供一致的高分辨率成像。曝光机的硬件设计能够承受和适应精确成像所需的高精度运动。该工具采用三轴伺服电动定位器来精确、重复地定位光学元件。X-Y级的分辨率为0.1 µm，位置精度为1 µm。第三（Z）轴提供200 µm的焦点深度，运动精度为0.01 µm。此外，曝光资产还包括一个旋转级，该旋转级就成像光学器件提供对基板的全角控制。此外,IQ-203还配备了高性能成像模型。该设备采用单色或多色照明，视野均匀。它还配备了高分辨率数码相机，能够产生分辨率高达3微米的图像。此外，曝光系统具有集成的自动聚焦功能，可根据样品的运动来调整成像。EXFO/EFOS IQ-203还与测量样本关键尺寸和特征的精确计量单元集成在一起。这台机器配备了板载激光器，能够进行快速的非接触式测量。此外，曝光工具包括一个自动化的控制软件，允许用户方便地设置和监控曝光过程。总体而言,EXFO IQ-203是一种高级曝光资产,设计用于高精度成像和计量测量。其集成的硬件和软件有助于快速、准确地测量样品上的关键特征和尺寸。该模型是先进微电子和半导体应用的理想选择。