二手 EXP EX-T700 #9308416 待售

EXP EX-T700是为大规模生产光电器件而设计的曝光设备。适用于光刻、蚀刻、溅射、金属沉积、离子植入等广泛的生产工艺。EX-T700有一个光束形的伽马源，它发出的单色光能级为1,200µW/cm2，波长范围为150至460 nm。其线性级的速度范围为0至12.5 Mcps，可容纳高达12.5 cm x 12.5 cm的样本量。多轴对准系统允许样品接触和非接触对准，精度为0.1 µm。EXP EX-T700具有用户友好的触摸屏界面,允许可编程曝光时间、剂量和其他曝光参数。它还具有紧急关闭开关、自动减源、事故时自动释放快门等多种安全特性。该单元独特的Focus-Lead优化功能允许快速准确地设置光束焦点位置,并减少模煳的影响。这样可以确保以最高的效率和最小的光源降解来暴露设备。EX-T700能够生产具有良好均匀性的器件层。这是由于其先进的控制算法允许以最小的偏差进行精确和可重复的曝光。此外,该机的设计是为了最大限度地减少功耗,同时产生优异的效果.EXP EX-T700具有用户友好的设计,占地面积小,适合大小制造站点使用。它也是为支持层沉积等错综复杂的过程而设计的，处理选项比传统的曝光系统更灵活。EX-T700还具有一个集成的数据记录工具，该工具提供有关资产性能和各种风险参数的信息。这有助于流程优化和维护流程控制。EXP EX-T700是一种高度可靠且成本效益高的曝光模型。其性能品质、安全特性和人性化界面，使其成为大批量生产光电器件的理想选择。