二手 FUSION G03 #9196371 待售

FUSION G03是为半导体对准器和步进器设计的先进曝光设备。该系统采用自动对焦二维对准测量系统，可提高精度，并具有高精度激光对准和标线夹紧等优点，具有良好的均匀性。曝光单元配备了最先进的自动调平机，在整个曝光区域提供快速、精确和精确的调平，同时还提供卓越的迭加性能。曝光工具能够曝光多达24英寸的设备级设备，并有一个高分辨率的模式发生器，允许高达21 µm的模式，并能够4路曝光。该资产具有高性能LED热熔器,可提供出色的亮度和对比度,变化范围可达0.4 µm,还能够减少曝光变化。该型号还配备了高精度三维扫描仪，以确保跨多个对齐器精确对齐，以及高精度对齐故障识别和迭加匹配等多种控制功能。此外，设备设计为完全自动化的设备和标线处理。它还与多种标线类型兼容，如凸起标线，并配有高分辨率的标线夹。该系统还设有具有多种计量功能的先进计量平台，包括扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）检查、光学检查。计量功能的设计是为了确保出色的模式均匀性和可重复性，以实现卓越的性能。总体而言，G03是一种高性能、先进的曝光装置，专为精确的半导体对准和曝光而设计。其特点使其成为生产线和其他大容量半导体制造应用的理想选择。