二手 HAKUTO HAP 3510C #156190 待售

HAKUTO HAP 3510C是为晶圆级制造工艺设计的曝光设备。该系统提供了精细螺距装置所需的精度和精确度。曝光头可容纳各种面罩尺寸，包括石英面罩，其曝光窗口与中大规模生产要求兼容。高精度的阶段运动也确保准确一致的曝光结果。HAP 3510C是一种直接曝光装置，能够曝光尺寸达8英寸的石英面罩。它利用专利曝光头，它以"扫描"运动在整个晶片上移动，从而实现更高的曝光均匀性和曝光精度。曝光头具有特殊的快门设计，可最大限度地减少耀斑并实现更精确的曝光分辨率。HAKUTO HAP 3510C可用于曝光高达100 nm的细螺距设备。凭借其先进的运动控制算法，曝光头可以以高达每小时6000mm的速度平稳准确地移动，确保快速可靠的曝光结果。曝光机还配备了先进的冷却工具，使其能够维持所需的热环境以获得最佳效果。曝光资产可以与各种机床和流程集成在一起,以满足您的自动化生产要求。此模型具有易于使用的计算机控件和图形界面,使用户能够快速优化操作。它还具有高度自动化的容错设计,可最大限度地提高设备的正常运行时间,并支持可靠的长期生产。除了各种功能外,HAP 3510C还提供一系列安全功能。其中包括晶片的防尘、晶片对准和未对准检测以及自动安全关闭系统。此外,该单元基于开放式体系结构,使其具有可扩展性和可定制性。HAKUTO HAP 3510C是一个全方位的曝光机，能够为你的晶圆级工艺提供高效的曝光解决方桉。其可靠的曝光结果，加上高精度，使其成为晶圆级处理的理想选择。