二手 LG PRI SAES5031 #9301073 待售

LG PRI SAES5031是一种最先进的曝光设备，旨在提供紫外线，用于生产优质光刻胶。该系统结合了先进的内部光学设备和高达2,000毫米/秒的扫描速度,以实现最大的吞吐量和最小的维护需求。该单元由紫外线光源、快门组件和高分辨率X-Y移动机器人组成。光源采用两个内部光学器件，最大输出4800 mW/cm2；它能够在多个预先设定的波长和曝光时间下精确地传递紫外线。快门组件采用了故障安全功能,提供了可调的间隔长度,以实现卓越的性能和准确性。运动机器人采用超低摩擦轴承和高精度闭环控制机来实现精确的稳定性和位置精度。SAES5031最多可容纳六种不同的光刻胶，适合高产生产和优化。它的高级快门控制功能与可编程曝光计数相结合,使其能够自动启动、停止和重复曝光,以及切换光阻层。它还具有内置真空夹紧功能,以确保在整个曝光过程中都能准确定位。为了增加安全性，LG PRI SAES5031采用故障安全镜头保护设计，可防止暴露在危险的紫外线下。最后，该工具包含一个直观的图形用户界面，允许用户轻松监控和调整曝光设置。SAES5031是应用光刻的理想工具，在不牺牲工业安全要求的情况下为批量生产提供可靠、可重复的性能。