二手 MATSUSHITA Anup 5204 #9286451 待售

MATSUSHITA Anup 5204曝光设备是设计用于光刻工艺的自动化晶圆曝光系统。它包含一个提供精确位置、曝光和定向控制的自动化晶圆处理程序；高度精确的激光对准装置，以实现快速和精确的对准；以及一种自动光学接近校正技术,能够自动识别缺陷类型,并能够调整暴露参数以对其进行补偿。曝光机具有各种曝光能力，包括光掩模扫描曝光、标线扫描曝光、微光刻和电子束曝光，以及高紫外线和低紫外线曝光模式。曝光工具还提供模式识别和校正能力，使其能够轻松地识别和纠正违规行为。Anup 5204资产采用高精度晶片级和晶片处理模型，提供精确的晶片定位和定位，以及曝光和定向控制。此外，曝光设备还提供快速、精确的激光对准，能够调整各种光刻工艺的对准和曝光参数。为了有效地实现整个晶片的均匀曝光，曝光系统采用了光学接近校正技术，该技术调整了曝光特性，以考虑到DFM要求。该技术允许曝光单元识别和补偿特定的模式识别和缺陷识别。MATSUSHITA Anup 5204曝光机用途广泛，可用于LCD制造、光掩模制造、MEMS制造等多种应用。此外,该工具还提供了总体拥有成本,使其对注重成本的制造商具有吸引力。该资产还提供了一个用户友好的计算机界面，允许用户设置和检索数据，以及监视曝光状态和检查错误消息。曝光模型还可以链接到其他制造设备，从而实现数据的连接和共享。Anup 5204曝光设备提供了一种全面的晶圆曝光解决方桉,可满足多种工艺要求。它不仅提供精确的晶圆定位和定向控制，还具有先进的激光对准系统和自动OPC调节功能。它也是高度通用的，具有被用于各种应用的能力。这使其成为寻求高效方法来创建高质量产品的注重成本的制造商的绝佳选择。