二手 MIDAS MDA-400M #293802207 待售
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ID: 293802207
Exposure system
Light source module
UV Light source: 350 nm to 450 nm
Intensity: 30mw/cm2
Beam size: 6.25" x 6.25"
Beam uniformity: 5%
Microscope:
Dual CCD Zoom microscope
LCD Monitor, 17"
(2) Attachments
Magnification: 80x - 1000x
Stage and controller module with time: 0.1 to 999.9 sec
Stage movement:
X: 5 mm
Y: 5 mm
Z: 10 mm
Theta: 4°
Exposure mode
Vacuum contact
Pressure contact: Hard / Soft proximity
Alignment accuracy: 1.0 µm
Resolution:
Vacuum contact: 1 µm
Pressure contact: 2 µm
Soft contact: 3 µm, 20 µm
Proximity: 5 µm
Utilities requirement:
Nitrogen: 40 psi, (6) Tubes
OFA: 85 psi, (6) Tubes
Power supply: 220 VAC, 15 Amp.
MIDAS MDA-400M曝光设备是为半导体制造、微电子、光电子、MEMS制造等多个行业的高精度光刻和基板精密图样设计的先进通用工具。这一曝光系统集成了尖端技术和功能,为用户在生产微型和纳米规模设备时提供了卓越的控制、准确性和可靠性。MIDAS MDA 400 M曝光装置的核心是一个精密的对准和曝光机制,能够精确对准和阵列基板上具有亚微米分辨率的特征。该机器结合了先进的光学、精密级和高分辨率成像系统,以确保准确和可重复的曝光结果。对齐机制采用创新的算法和反馈控制机制,以补偿曝光过程中的任何误差和漂移,确保基板上模式的最佳对齐和配准。曝光工具配备了先进的光源,能够产生高强度的紫外线、可见光或红外光,用于光刻胶曝光。光源与一种精密的光束输送资产相结合,可以精确控制底物上的暴露剂量和能量分布。这样可以确保整个基板表面的均匀曝光,从而实现具有出色边缘敏锐度和分辨率的特征的高保真阵列。MDA-400M曝光模式的关键特征之一是其全面的软件界面,为用户提供了一个用户友好直观的平台,用于编程曝光配方、设计模式和控制曝光过程。该软件允许用户导入CAD文件、优化曝光参数以及实时监控曝光进度。此外,该软件还配备了高级数据分析工具,用于曝光后验证和流程优化,使用户能够微调曝光方法以获得最佳结果。曝光设备设计可容纳广泛的基材尺寸和类型,包括晶圆、玻璃板和柔性基材,使其成为微电子和半导体行业各种应用的通用工具。该系统可以轻松配置为支持不同的曝光模式,如接近、接触和投影光刻,允许用户根据自己的具体要求选择最合适的曝光方式。在自动化和生产率方面,MDA 400 M曝光单元配备了先进的机器人搬运系统,用于底物装卸,最大限度地减少人工干预,降低污染风险。该机器还具有集成传感器和监控系统,用于实时质量控制和过程优化,确保在大批量生产环境中的一致性和可靠性。总体而言,MIDAS MDA-400M曝光工具是高精度光刻和微加工工艺的最先进的解决方桉,为用户提供了先进的微小型和纳米级设备制造基板阵列的卓越控制、精度和效率。凭借其先进的功能、多才多艺的功能和用户友好的界面,曝光资产是研究实验室、研发设施和生产环境的一个不可或缺的工具,这些研究实验室、研发设施和生产环境力求在其微加工过程中实现不折不扣的质量和性能。
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