二手 MIDAS MDA-40FA #9358497 待售

MIDAS MDA-40FA是专门为提供最佳晶片蚀刻性能而设计的最先进的曝光设备。该系统基于MIDAS专有的可变元件比率（VCR）技术,使用户能够精确设置统一蚀刻轮廓和高制造产量所需的参数。MDA-40FA将高性能驱动基板与提高暴露传递精度相结合。其集成的PDS（等离子体沉积单元）消除了对专用掩模的需求，使基板的处理速度大大加快。该机具有40站架、用户友好的液晶触摸屏显示屏、高压（6 torr）基板环境以及基于计算机的自动化过程控制。MIDAS MDA-40FA允许用户进行各种过程操作,包括制图、清洗、蚀刻和沉积。它也提供了在基板上沉积单层膜的机会。此外，该工具还提供多个库存模块，包括一个集成的湿清洁模块和一个集成的等离子体蚀刻模块。湿式洁净室设有低压环境，可自动清洗，而等离子体蚀刻室可在高达5 torr的大气压下运行。MDA-40FA提供了操作过程中基板参数的集成视图。资产的单一集成视图有助于精确控制和监控不同的参数,包括基板旋转速度、快门速度和曝光时的快门角度。还可以使用自定义设置配置模型,以满足特定的流程要求。此外，自动化控制设备能够储存多达25个流程，并能深入了解所使用的材料。此外,MIDAS MDA-40FA使用户能够精确控制暴露剂量,并保持晶圆边缘的均匀性。其精密的设计消除了手动对齐的需要,从而提高了吞吐量。此外，系统通过控制基室内的温度来确保过程的准确性。综上所述，MDA-40FA是专门为提供均匀晶片蚀刻性能而设计的高性能曝光装置。其先进的技术允许用户为提高吞吐量和制造产量精确设置各种参数。集成的高压环境保证了操作过程中对基板参数的精确控制。此外,自动控制机器还能深入了解所使用的材料,从而无需手动调整并提高吞吐量。