二手 NIKON FX-21S #9285711 待售

NIKON FX-21S是一种先进的曝光设备,专为最精确的光刻生产而设计.它具有集成的多区域对称曝光头,能够统一曝光大型基板,并具有用于记录曝光设置和结果的自动文档系统。曝光单元配有两个参数化光源：一个用于均匀线性刺激的200W氙弧灯和一个300W金属卤化物灯，以及一个用于三个不同曝光区域的带模块化光学元件的反射器。氙源用于提供最一致和均匀的光，金属卤化物灯为小区域提供更集中的强度。这种光源组合提供了每个不同区域的精确曝光，从而确保了光掩模的精确再现。该机光学部件采用高精度二氧化硅玻璃制成，具有完全的温度和湿度无源。此外,它们还设计用于长期可重复性和最小的热噪声。光学部件安装在高性能双轴横向平台上，用于精确准确的曝光定位和控制。曝光头与两个激光微米相结合，用于基板的对准和环境变量的补偿。激光微米也被用于可控曝光极小部分的光刻胶。微米可在五个参数中进行调节，允许在不同过程中精确曝光光刻胶。对于注册精度和数据分析,FX-21S还提供了一个高级自动文档工具,用于记录不同的设置参数,如曝光时间、曝光区域、光源类型和持续时间等。所有数据都以易于检索的格式系统化和存储,并且可以以不同的格式输出。该资产提供了对结果的完整可追踪性,确保了准确和可重复的暴露结果。此外，NIKON FX-21S还配备了直观的用户界面和高级软件，便于控制曝光过程，以及读取和记录输出的数据。接口提供了几种不同的语言，这样就可以在世界不同地区使用。它还提供内置的安全功能,可在发生意外事件（如电源故障）时保护用户。最后，FX-21S是一个高度精确和可靠的曝光模型，设计用于高精度光刻生产。它配备了自动化的登记和校准系统，以确保准确的曝光和一致的结果。它旨在提供最高的准确性和安全性,同时提供易于使用的图形用户界面。