二手 NITTO UM 810 #9130821 待售

NITTO UM 810是为生产半导体器件而设计的曝光设备。它是一个高度先进的系统，利用紫外线、电子束和激光曝光技术的组合，在薄膜或光刻基板上创建复杂的图样。NITTO UM810能够产生最小尺寸为5微米的复杂模式。它是一个多功能灵活的平台,提供可定制的解决方桉以满足各种需求。UM-810是一个全自动单元，具有直观的用户界面和简单的机器控制。它包括一个发光源室，在其中发出紫外线以暴露材料。电子束室控制在半导体基板上铣削的电子束。激光曝光（LBE）工具精确定位激光输出进行对准和曝光。该LBE还包括激光扫描仪的精细图案。UM 810配备了光学子系统，通过将光聚焦到基板上来提供高分辨率成像。光学子系统包括光源、场发生器、高强度光源、投影光学、数字帧抓取器和焦点资产。该模型还可用于半导体芯片相互键合的亚微米级对准。UM810是一种非常精确的设备,通过其产量优化功能来节省时间和降低成本。它与包括金属、聚合物、玻璃在内的各种材料的基材高度兼容。其LED曝光源可确保结果在可接受范围内的可重复性。最后,该系统提供了易于操作和升级的功能,使其成为满足任何曝光需求的理想选择。