二手 NOVELLUS Vector Sola xT #9390438 待售

NOVELLUS Vector Sola xT是一款先进的曝光设备，旨在满足半导体行业使用的光刻工艺的严格需求。Vector Sola xT能够在600°C或更高的温度下提供高精度、高质量的曝光,并具有高速、高分辨率的模式覆盖层,能够生产最复杂的结构。该系统采用先进的双级光学单元，具有高精度多边形扫描和超高分辨率图样迭加功能，可实现微米级特征的高速精确图样。配备了专有算法的先进近场光学头可实现高对比度的精确高清晰度成像。这增强了整个基板场的节点均匀性和均匀性。高速曝光机总吞吐量高达每小时225个晶圆。它配备了高精度的狭缝扫描算法和快速的现场缝合技术，使无缝成像具有低失真。这种高吞吐量可确保缩短周期时间,从而促进更高效的生产操作。除了高速曝光能力外，NOVELLUS Vector Sola xT还配备了先进的真空处理工具，能够快速装卸基板。这将基板振动造成的暴露故障风险降至最低。它还有助于提高吞吐量和减少曝光周期时间。Vector Sola xT还具有先进的曝光控制工具,能够精确控制曝光参数。这有助于通过提供准确可靠的成像解决方桉来优化过程结果。资产还配备了高精度对准模型，以确保精确的曝光对准，最大限度地减少过度和不足接触基板。总体而言,NOVELLUS Vector Sola xT是一款先进的曝光设备,旨在满足半导体行业中光刻工艺的严格需求。其高精度的多边形扫描、双级光学系统和超分辨率的图样迭加使得最复杂的结构能够高速生产。其先进的真空和对准系统能够在低失真的情况下实现准确可靠的成像，其曝光控制单元有助于优化工艺结果。