二手 OAI 2000 EdgeBead #9266654 待售

OAI 2000 EdgeBead是为半导体制造行业自动制造Quartz基板而设计的最先进的曝光设备。它具有双轴扫描能力和精确定位功能,能够有效、准确地曝光各种尺寸和厚度的基板-从单个基板单元0.030英寸。厚达多个基板堆栈，总厚度为一英寸。2000 EdgeBead采用全自动真空操作系统构建,可轻松操作和对齐基板。该单元采用标准工具包配置，由61 "x 81"曝光基地组成；垂直面真空板；光束扫描仪；精确的立柱。整个机器安装在12 'x 12'的空间内,可在标准的ISO 7类洁净室内操作。OAI 2000 EdgeBead由使用VMEBus技术的LXI 3.0控制器驱动的控制工具提供支持。这种能效高的资产使用户能够完全控制曝光过程，从阵列到基板对齐。该控制器还具有用户友好的图形界面，可快速、方便地导航机器的参数和模型配置。为了保证产品的质量和使用寿命，对设备的所有部件进行了严格的测试和验证。2000 EdgeBead采用高频、高分辨率波束扫描仪，产生可重复模式，精度为2微米，最大工作频率为60 kHz。该系统专为线性和点对点激光曝光而设计,配备了8镜头可变孔径光学外壳和氦冷束扫描仪。为了提高吞吐量和缩短周期,OAI 2000 EdgeBead配备了精密输送机。这种智能机器可以在高速加工过程中以连续运动的方式移动基板。该工具还具有堆栈装载机和卸载机，可以快速拆卸和更换基板，以及精确的基板定位。总体而言,2000 EdgeBead是一种直观且用途广泛的资产,旨在提高生产产出和效率。OAI 2000 EdgeBead通过提供一系列自动化工艺、提高吞吐量和全面的作业控制,确保为当今要求苛刻的半导体行业准确生产石英基板。