二手 ORC DXP-3301 #293627311 待售

ORC DXP-3301是一种自上而下的集成曝光设备,旨在实现经济高效的晶圆级IC工艺。它具有7英寸分辨率、5微米独立分辨率和0.5微米CD均匀性。此外，它由总共12个精确的模式对齐点构成，能够提供多达6个卡盘重迭曝光。DXP-3301有一个持久的设计，有一个整体框架，间接的光路，和气囊，以保护其敏感的组件免受冲击。它还利用多个标准化组件进行轻松维护,并通过可靠的晶圆处理和较低的使用组件提供卓越的总拥有成本（TCO）。此外,它还可以灵活配置,以满足高分辨率和高通量需求,并具有快速的交换机算法和高速设置时间。关于它的自上而下的成像系统，它的光学控制成像（OCI）镜头赋予了极好的对焦深度（DOF）和较低的图像失真率。其数字自适应照明（DAL）系统可确保高达6.5的高动态范围,而其反射自动照明（RAI）可提高曝光质量并最大限度地减少耀斑。在自动化能力方面，ORC DXP-3301配备了全自动光学检查和注册能力，可以监控每个晶片的对准和曝光精度。此外，它还有一个自动传动装置，通过自动调整卡盘运动、载荷和卸载速度来加快整个曝光过程。它与流行的正面和负面抗性处理解决方桉相结合，进一步增强了其提供一致和可靠曝光的能力。总体而言,DXP-3301暴露机是经济高效、高质量制造集成电路的理想而全面的解决方桉。其强大的设计和基本的特性使其具有出色的总体拥有成本,并确保在整个IC玻璃生产过程中保持一致的结果。