二手 ORC DXP-3512 #9189059 待售

ORC DXP-3512是一种用于生产光刻口罩的曝光设备。它为用户提供卓越的分辨率、准确性和吞吐量,以实现最佳性能。它包括一个12投影仪系统，允许多达12个晶圆同时加载到工具中。该单元具有可选的激光类型,包括248nm至193nm的ArF和248nm至157nm的KrF。这样可确保掩码复制的最高分辨率和保真度。它还具有分辨率12,800X12,800的高分辨率数字微镜设备（DMD）。这增加了景深，并自动调整剂量以减少暴露误差。DXP-3512有一台高通量索引机，它在2.5秒内索引直径为8英寸的晶片。工具的最大扫描速度达到90英寸/秒。此外,它还支持使用石英板、油滑块和索引板,其10 gr/step分辨率允许用户在资产中精确定位晶片。该模型还具有Java Visual Machine （JVM）软件,它提供了用户友好的图形界面。这允许用户轻松编辑程序并生成一套全面的输出报告。此外，随着设备技术和控制器的发展，该软件可以很容易地得到更新。ORC DXP-3512还具有高级安全功能。它包括消除晶圆和曝光错误的基于软件的联锁以及防止操作员超载和激光能量意外暴露的基于硬件的安全联锁系统。总体而言,DXP-3512是为高性能掩码复制而设计的高级曝光单元。它为用户提供高分辨率、吞吐量和准确性。它还具有可选的激光类型、高分辨率DMD、高通量索引机、易于使用的软件和高级安全功能。这些特性使其成为可靠高效的曝光工具。