二手 ORC EDI-8010 #9376102 待售

製造商
ORC
模型
EDI-8010
ID: 9376102
Exposure system CCD Camera SR Resist Upper stage Inversion Down stream Clean rolls Ejection unit Gas: PN2 Power supply: 220 V, 60Hz, 3-Phase.
ORC EDI-8010是一种主要用于光化学实验的曝光设备。它是一个低能级(低于90J/m2min)、宽波长范围(200-800nm)的UV-VIS辐照单元。该系统提供了一种将基板暴露在精心控制的光谱电磁辐射中的手段,用于研究、开发或过程控制。EDI-8010由一系列灯、电源、电子计时器和一个工艺室组成。该灯配有一个石英外壳,里面装有一管氨水和一种非辐射气体溷合在一起,无论是氮气还是​​氙气。灯的发射范围从200到800nm,但功率输出相对较低。电源提供的可调功率可达不同波长。此外,计时器具有100微秒的分辨率,允许精确曝光时间和重复曝光事件。加工室是ORC EDI-8010的主要特点;它是一个封闭的环境,基板暴露在各种程度的电磁辐射中。EDI-8010设计有一个主动冷却装置,以确保稳定的温度,均匀暴露和热管理。整个机器被设计为利用黑色阳极氧化铝在其外表面上最小化杂光。这有助于限制射入工艺室的光量。该单元还配有一个安全快门,设计用于在工具不使用时关闭,减少了因意外激活资产而暴露的可能性。ORC EDI-8010的设计符合严格的安全、效率和精度标准。其主要目的是以受控方式传递均匀剂量的低能电磁辐射,并监测暴露在基板上的影响。该模型适用于一系列光化学实验,包括但不限于,光刻、薄膜蚀刻、隐形眼镜的研制、光刻胶的曝光。此外,它还可用于医学研发应用,特别是在光动力学治疗领域。
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