二手 PANASONIC ANUP5252L #9374982 待售

PANASONIC ANUP5252L是一种自动化晶圆曝光设备,当晶圆暴露于紫外线光源时,可提供一致、可重复的结果。该系统旨在支持多种光刻工艺，包括深紫外线（DUV）投影半导体光刻。ANUP5252L利用基于平台的自动化晶片对准单元来确保精确和可重复的晶片曝光。该对准单元使用干涉仪测量晶圆高度，检测精度为1微米，确保晶圆与曝光单元对准以获得最佳结果。机器允许预先设定曝光时间参数，并通过在曝光多个晶片时防止重迭或错过区域来支持提高产量。PANASONIC ANUP5252L采用PANASONIC的紫外线聚焦透镜，在曝光过程中保证均匀的场强。这种先进的透镜被设计成在整个晶片表面产生均匀的强度，减少误差并优化曝光过程。镜头可用于各种曝光，包括接触、接近和软接触光刻，以及扫描和阶梯式光刻。该工具配有真空卡盘，在暴露过程中牢固地固定基板。卡盘采用低压真空界面，在晶片表面保持+/-15%的均匀性，减少失真，确保准确和可重复曝光。该资产的软件还具有自动还原和交叉校准功能，为各种光刻应用提供了智能稳定的平台。ANUP5252L专为工业环境中的高性能和高产率而设计。该模型的坚固结构结合了最先进的监控功能,有助于确保每次最佳曝光。此外，该设备还包括各种自动安全功能，包括防止漏光的紧急停车和防护罩。因此，PANASONIC ANUP5252L提供了可靠且可重复的曝光，有助于最大限度地减少变化并确保晶片符合精确的光刻规格。