二手 RORZE 4PRSC140-001-001 #9314645 待售

ID: 9314645
晶圆大小: 8"
优质的: 2011
Curing system, 8" Cooling stage (3) Load ports Robot (2) Ovens 2011 vintage.
RORZE 4PRSC140-001-001是一种由具有专利光学反射器设计的四通道投影系统组成的曝光设备。该单元设有一对1400瓦Xe灯,两个10W FEL灯,一个用于微调光输出的全光谱石英棱镜,以及一台精确的、由计算机控制的校准机。RORZE曝光工具旨在提供均匀的基板照明和均匀的光强度。600mm x 800mm的大曝光面积确保了投射光的高精度,以实现最高的效率。Xe灯和FEL灯的组合为精密照明提供了广泛的光谱范围。Xe灯既提供紫外线,也提供可见光,而FEL灯则提供高强度输出以进行必要的曝光。投影仪的资产利用石英棱镜,这种棱镜的设计目的是降低通过时发出的光的强度,从而减少光色散形式的浪费能量。精确的计算机控制校准模型可确保每个曝光周期的准确曝光时间和强度。设备还配备了节能自动待机功能,在曝光系统不在使用时降低功耗。曝光装置还具有若干安全和安保功能,包括在操作过程中保护眼睛的安全屏蔽装置和在打开安全屏蔽装置时停止Xe灯的电子控制联锁装置。此外,该工具还包括一个环境监测资产,如果房间的环境温度超过建议的参数,它将关闭灯。曝光模型还经过了一套严格的安全和环境测试,以达到制造、安全和环境实践的国际标准。总体而言,4PRSC140-001-001暴露设备是制造、原型设计和研究应用的高效解决方桉。它结合了Xe和FEL灯、计算机控制的校准系统和安全特性,是精确曝光任务的绝佳选择。
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