二手 RUDOLPH A2300 #9289379 待售
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RUDOLPH A2300是一种先进的曝光设备,旨在促进数字光刻工艺控制和印刷解决方桉。它由高精度、工业级的执行器提供动力,设计用于在数字光刻印刷过程中提供可靠和准确的光刻胶曝光。借助强大的软件以及深入的计量和成像功能,A2300实现了详细的工艺优化,使用户可以在其数字光刻打印中获得最高的精度。RUDOLPH A2300具有2000毫米x 2000毫米的磁场,可以处理从深紫外线到紫外线的各种底物。它使用可调场角(AFA)技术在整个场上提供恒定强度和分辨率。该系统保证均匀曝光,任何尺寸的基板均具有1 µm的分辨率,以确保没有非线性滞后或失真的光刻图样。它还配备了一系列外围设备,如端场滤波器、基板支架和多图像投影仪。A2300的整个单元高度自动化,可以为用户节省大量时间和人力。它由一台3 D数值控制(NC)机器提供动力,具有可编程的控制,允许用户调整缩放距离、振动速度、曝光时间、激光强度和集成等曝光参数。使用先进的软件系统可确保光刻结果的可靠操作和可重复性。RUDOLPH A2300还具有直观的用户界面和易于导航的菜单结构。它具有一组强大的跟踪和跟踪数据管理功能,允许用户跟踪打印质量并根据需要调整曝光设置。利用其高效的所见即所得界面,用户可以在打印前预览其工作。最后,该工具采用温度控制,腔室温度工作范围在8°C-15°C之间。一种特殊的主动通风设备可以有效地从模型中散热,保持机器温度恒定,并使客户能够以较少的错误来执行此操作。凭借其有据可查的安全协议,A2300是曝光设备市场的有力竞争者。
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