二手 SANYO / TOTTORI LPM 2006W-1 #9354054 待售

SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1是一种大型投影光刻曝光系统,适用于广域或中场应用。设计考虑到高分辨率和高通量，它是一个合适的选择，在几个光刻工艺工作的织物。SANYO LPM 2006W-1使用先进的照明器,并包含一系列功能以实现高效操作。超低光照级别光源具有精确的焦点采集功能,四通道控制处理器可实现高度可靠和高效的曝光对准。该照明器能够发射高强度光束以实现快速吞吐量以及低强度光束，从而减少了精确获取焦点所需的时间。为了提高精度，TOTTORI LPM 2006W-1配备了多种光学元件，支持广泛的数值孔径（NA）和波长。这包括可调节的五元折射、多波长、激光扫描和高分辨率成像光学。此外,还采用了100毫秒电子束脉冲和一个新的数字电源单元（PSU）,可以根据掩模的轮廓来控制强度。晶圆放置的控制是通过一个高精度的阶段实现的，该阶段具有完整的六轴定位、直接驱动和减小的运动共振。六轴级还包含用于检测掩模图样的热成像相机，并与晶片处理系统连接，提供精确晶片对准和晶片自动切换。在维护方面，LPM 2006W-1在维护方式上要求很少。通过包括锥形滚子轴承以及可以在问题变得严重之前识别问题的在线诊断,这一点得到了加强。此外,还具有自动清洁功能,可以快速从敏感光学器件中去除颗粒。总体而言,SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1是寻求高效、精确的光刻生产步骤的制造商的绝佳选择。凭借其高分辨率、高吞吐量和用户友好的设计，它不仅能够处理广泛的应用需求。