二手 SVG Micrascan III #9212227 待售

SVG Micrascan III是光掩模行业最先进的数字成像和曝光设备。这种曝光系统利用了当今最先进的光刻工艺之一。此单元允许设计和生产极小的特性,以提高所生产的口罩的分辨率和整体精度。Micrascan III利用157 nm波长技术,以更高的分辨率和曝光精度来显示用于高级光刻应用的图样掩模。这台机器能够在一次曝光时产生最小半径32nm和最小线宽在10nm以下的特性。SVG Micrascan III配备了许多功能，以确保卓越的成像和曝光质量。该工具包括快速高效的投影镜头资产，以及升级的对准和重新对准模型，以提高运行性能。设备还配备了大功率脉冲激光器，确保最大曝光输出精确暴露即使是最小的特征尺寸和临界尺寸。Micrascan III系统还集成了智能过程管理和控制软件。此软件为用户提供了广泛参数的可见性和控制性,确保每个作业运行都能获得准确、一致的结果。该单元还包含一个优化的视觉机器，它提供了一系列的查看选项，从微观监控到模式放置的自动精细调整。SVG Micrascan III适合在洁净室环境中使用，并提供极精确且可重复的结果。该工具专为重型工业接触应用而设计,可实现一致的高产生产。Micrascan III是高品质光掩模生产和制图需求的理想选择。