二手 ULTRA OPTICS Ultra RX #293816243 待售

ULTRA OPTICS Ultra RX是为高级光刻应用而设计的曝光设备。它为高级技术节点提供了超高分辨率和重复性,以及全剂量处理灵活性。该系统由多个曝光头的线性阵列组成，允许在阵列的整个宽度上独立控制曝光剂量和剂量均匀性。它还有一个高分辨率的探测器，用于精确测量整个曝光头的光强度分布。曝光头由高分辨率马达驱动，允许亚微米曝光控制以获得最佳的阵列精度。Ultra RX单元有一个控制器单元，可以自动执行曝光参数，并提供高水平的机器控制。控制器可以编程为执行对齐和其他过程控制例程，以及一个集成的校准工具，以确保资产稳定性。它还提供了一个直观的用户界面以及一系列用于诊断和分析的工具。该模型利用先进的成像设备,即使是最复杂的图样也能提供广泛的动态范围成像。成像系统由一系列专门为光刻应用而设计的光学元件支持，并提供高对比度的光学性能。曝光单元还有一个集成的计量机，以确保曝光过程中的准确性和可重复性。该工具测量曝光光束的强度和暗值,并且错误检测资产有助于防止由于曝光剂量不正确或光束位置未对准而产生的错误。总体而言,ULTRA OPTICS Ultra RX为高级光刻应用提供了可靠可靠的模型,使用户能够以出色的分辨率和均匀性生成高质量的图样。