二手 USHIO UFX-2259B-AMB01 #9372133 待售
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ID: 9372133
优质的: 2009
Exposure system, parts machine
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
CCD Has been removed
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate missing
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display is non-functional
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (3) Balance air cushions
Static elimination: Ion gun
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01是为光学光刻应用而设计的先进曝光设备。该系统提供高精度和高稳定性的曝光过程,这对于确保打印特征的准确性至关重要。它能够准确控制印刷元件的形状、尺寸、深度和其他微观结构特征。该单元配有多种透镜和光圈，以适应不同的工艺和材料。它配备了一个高精度的舞台来移动晶片，以确保印刷特征的精确放置。暴露的晶片随后从机器转移到加工平台进行进一步处理。UFX-2259B-AMB01允许通过随附的软件包精确控制曝光过程。该软件能够管理曝光时间和功率，以及控制各种参数，如焦点和波长。它还允许用户在曝光过程中监控温度、湿度和气流。USHIO UFX-2259B-AMB01还拥有先进的计算机数字信号处理器（C-DSP），以提供曝光参数的一致精度和曝光室内的恒定温度。高级处理器还提供诊断功能,并允许远程监控工具性能。该资产能够精确校准暴露参数，以确保工艺精度。它还可以评估晶圆特征形状,以快速识别打印过程中的潜在问题。UFX-2259B-AMB01为用户提供可用于报告和分析的详细暴露日志数据。该型号配备了多种安全功能，可监控不同参数，防止工艺操作不正确。这包括一个卤素灯泡保护和抗静电接地的晶圆外围卡盘。曝光设备还具有减震器系统，以便在极端情况下保持最佳曝光性能。总体而言，USHIO UFX-2259B-AMB01是为光学光刻应用而设计的先进曝光装置。它能够准确地控制印刷元件的形状、大小、深度和其他微观结构特征,并为用户提供详细的曝光日志数据以进行报告和分析。该机器还提供多种安全和性能特性,以确保最佳性能。
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